PROCEDE POUR MESURER LA HAUTEUR DE SPHERES OU D'HEMISPHERES.

摘要

Il est prévu un procédé qui autorise un appareil simple et bon marché pour mesurer l'uniformité des positions dans le sens de la hauteur de sphères ou d'hémisphères telles que des électrodes ayant une géométrie de bulle d'un dispositif semi-conducteur. Le degré de focalisation est calculé à partir d'une image d'électrodes ayant une géométrie de bulle 11a et 11b acquises dans une première position de focalisation F1 en utilisant un système d'imagerie. Après cela, les électrodes ayant une géométrie de bulle 11a et 11b et le système d'imagerie sont rapprochés ou éloignés l'un de l'autre, et puis le degré de focalisation est calculé à partir d'une image acquise dans une deuxième position de focalisation F. Le degré de focalisation dans ces deux position de focalisation F1 et F2 sont comparés l'un à l'autre. IL s'ensuit que les lignes du contour des sections transversales horizontales des électrodes ayant une géométrie de bulle 11a et 11b sont détectées à la hauteur (F1+F2)/2 de la position d'égaldegré de facalisation indiquée par PQ.