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发明名称 MASK HAVING STRUCTURE OF MULTIPLE ETCHING AND METHOD OF MANUFACTURING THE MASK
摘要
申请公布号 KR20050066172(A) 申请公布日期 2005.06.30
申请号 KR20030097423 申请日期 2003.12.26
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 CHOI, JAE SEUNG
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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