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发明名称
INTEGRIERTE FOTOKATHODE
摘要
申请公布号
DE69632639(T2)
申请公布日期
2005.06.30
申请号
DE19966032639T
申请日期
1996.11.05
申请人
INTEVAC, INC.
发明人
COSTELLO, A.;AEBI, W.;WEISS, E.
分类号
H01J9/12;H01J1/34;H01J31/50;H01J40/06;H01J43/08;H01L21/306;(IPC1-7):H01L29/06;B44C1/22;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/465;H01L27/095;H01L29/12;H01L31/033
主分类号
H01J9/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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