发明名称 INTEGRIERTE FOTOKATHODE
摘要
申请公布号 DE69632639(T2) 申请公布日期 2005.06.30
申请号 DE19966032639T 申请日期 1996.11.05
申请人 INTEVAC, INC. 发明人 COSTELLO, A.;AEBI, W.;WEISS, E.
分类号 H01J9/12;H01J1/34;H01J31/50;H01J40/06;H01J43/08;H01L21/306;(IPC1-7):H01L29/06;B44C1/22;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/465;H01L27/095;H01L29/12;H01L31/033 主分类号 H01J9/12
代理机构 代理人
主权项
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