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发明名称
MIKROMECHANISCHER MASSENFLUSSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号
DE50203208(D1)
申请公布日期
2005.06.30
申请号
DE20025003208
申请日期
2002.06.08
申请人
ROBERT BOSCH GMBH
发明人
FUERTSCH, MATTHIAS;FISCHER, FRANK;METZGER, LARS;SUNDERMEIER, FRIEDER
分类号
G01F1/684;(IPC1-7):G01F1/684
主分类号
G01F1/684
代理机构
代理人
主权项
地址
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