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发明名称 HIGH SELECTIVITY COLLOIDAL SILICA SLURRY
摘要
申请公布号 SG112052(A1) 申请公布日期 2005.06.29
申请号 SG20040006716 申请日期 2004.11.18
申请人 PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC.;H.C. STARCK GMBH 发明人 BELOV, IRINA;PUPPE, LOTHER;PASSING, GERD W.
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/3105 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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