| 发明名称 |
THIN FILM REMOVING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20050063761(A) |
申请公布日期 |
2005.06.28 |
| 申请号 |
KR20050052340 |
申请日期 |
2005.06.17 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
KAWAGUCHI YOSHIHIRO;TATEYAMA KIYOHISA |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
