Werkwijze alsmede inrichting voor het vervaardigen van een functionele laag bestaande uit ten minste twee componenten.

摘要

A method for manufacturing a functional layer includes introducing a substrate into a process chamber; generating a plasma by a DC plasma cascade source; depositing a first deposition material on the substrate under the influence of the plasma. At the same time, a second deposition material is applied to the substrate with a second deposition process. The functional layer has no catalytic function.