PHOTODETECTOR COMPRISING A MONOLITHICALLY INTEGRATED TRANSIMPEDANCE AMPLIFIER AND EVALUATION ELECTRONICS, AND PRODUCTION METHOD

摘要

Die Erfindung soll einen Fotodetektor (10) so gestalten, dass sich bei Detektoren für niedrige zu verarbeitende Lichtleistungen beim Stand der Technik keine Nachteile ergeben, insbesondere wenn es um eine monolithische Integration mit der Auswerteelektronik geht. Vorgeschlagen wird dazu ein Fotodetektor für geringe zu verarbeitende Lichtleistungen mit Transimpedanz-Verstärker und Auswerteelektronik in monolithischer Integration. Ein eigentlicher Fotozellenteil (20) ist der einen Chipseite zugeordnet, auf der vorzugsweise das Licht einfällt. Elektronische Schaltungsteile (30) sind auf der entgegengesetzten Chipseite angeordnet. Elektrische Verbindungen (40) zwischen der Fotozelle und der elektronischen Schaltung sind mit einer Ausdehnung in Richtung zu einer Senkrechten zur Chipnormalen vorhanden.