发明名称 METHOD OF FORMING CONTACT HOLE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050059475(A) 申请公布日期 2005.06.21
申请号 KR20030091099 申请日期 2003.12.15
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, YONG SOO;YANG, HONG SEON;JANG, SE AUG;LIM, KWAN YONG;CHO, HEUNG JAE;LEE, JUNG HO;OH, JAE GEUN
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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