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发明名称 Method for crystallizing of an amorphous Si
摘要
申请公布号 KR100496489(B1) 申请公布日期 2005.06.21
申请号 KR20030028520 申请日期 2003.05.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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