表面检查装置及表面检查方法

摘要

本发明提供一种即使不进行照明光之短波长化，亦能确实因应重复间距之微细化的表面检查装置及表面检查方法。其具备：以直线偏光L照射形成于被检测基板20表面之重复图案的机构13，将在表面之直线偏光L之振动面方向与重复图案之重复方向所夹角度设定成倾斜之机构11,12，从重复图案往正反射方向产生之光L2中、抽出与直线偏光L1之振动面垂直之偏光成分L4的机构38，以及根据偏光成分L4之光强度、检测重复图案之缺陷的机构39，15。