试料观察方法及显微镜,所使用之固浸透镜及光学密着液

摘要

本发明是有关一种在作为检查对像之试料的半导体装置上，滴下含有两亲媒性分子的光学密着液(S104)，并在其上面用来设置固浸透镜(S105)。接着，调整固浸透镜的插入位置(S106)，之后，使光学密着液乾燥(S108)，并使固浸透镜及半导体装置形成光学性地密着。藉此，容易使位置一致于试料所要的位置，可将固浸透镜以光学性确实地密着在试料上，以实现试料观察方法及显微镜等。