| 发明名称 | 基板运送方法和基板运送系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够不损害位置精度而迅速转运基板的基板运送方法和基板运送系统。在利用运送机器人的保持面(210)对基板进行的保持中使用静电吸盘机构，以在保持面(210)产生静电吸附力的状态下，从支撑面(303)向保持面(210)转运基板(W)。从而，能够在将基板(W)转移至保持面(210)之后立即通过静电吸附力来保持基板，因此能够快速实行基板(W)的运送操作，能够缩短在处理室之间运送基板的时间。 | ||
| 申请公布号 | CN103026479B | 申请公布日期 | 2016.02.24 |
| 申请号 | CN201180036140.9 | 申请日期 | 2011.07.25 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 南展史;武者和博 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B25J15/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人 | 蒋雅洁;孟桂超 |
| 主权项 | 一种基板运送方法，包括：将具有静电吸附用的电极的运送机器人的保持面移动到由支撑部件的支撑面所支撑的基板附近；在对所述电极施加电压的状态下，从所述支撑面向所述保持面转运所述基板，在由所述保持面静电吸附所述基板的状态下，向所述支撑面转运所述基板。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||