具双喷嘴之脆性工件切割设备

摘要

一种具双喷嘴之脆性工件切割设备包含一工作台、一辐射束供应单元、一第一喷嘴及一第二喷嘴。辐射束供应单元提供一辐射束冲击于固定在工作台之脆性工件之一第一表面上之一第一区域中，用以在该区域造成一张应力。第一喷嘴喷出一液体喷流冲击于第一表面上之一第二区域中，用以在该区域造成一压应力。第二喷嘴喷出一气体喷流冲击于第一表面上之一第三区域，用以清洁乾燥该第一至第三区域。该张应力与该压应力使脆性工件形成一裂纹，且第二区域系位于第一区域与第三区域之间。