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发明名称 POLIERKISSEN MIT VORTEILHAFTER TEXTUR
摘要
申请公布号 DE60110820(D1) 申请公布日期 2005.06.16
申请号 DE2001610820 申请日期 2001.09.18
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC. 发明人 PINHEIRO, SCOTT;NAUGLER, STEVEN
分类号 B24B37/04;B24B37/26;B24D3/00;B24D13/14;(IPC1-7):B24D13/14 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
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