| 发明名称 |
Depositing a tantalum film |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2393189(B) |
申请公布日期 |
2005.06.15 |
| 申请号 |
GB20040000103 |
申请日期 |
2002.07.15 |
| 申请人 |
* TRIKON HOLDINGS LIMITED |
发明人 |
HILKE * DONOHUE |
| 分类号 |
C25D7/12;C23C14/02;C23C14/14;C23C28/00;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):C23C14/02 |
主分类号 |
C25D7/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
