用于检查对带电粒子有反应的抗蚀剂的系统和方法

摘要

一种用于扫描图形的设备和方法。本方法包括：(i)引导该带电粒子束，使之沿第一扫描路径与图形相互作用，和(ii)引导该带电粒子束，使之沿第二扫描路径与图形相互作用。图形作为与带电粒子束相互作用的结果，改变它的一种特性。第一与第二扫描路径之间的距离，可以大于带电电子束的直径。第一与第二扫描路径中的每一路径，可以包括许多相继的抽样，且第一与第二扫描路径之间的距离，可以大于相邻抽样之间的距离。扫描路径的位置，可以在测量中改变，并特别是在各测量期间之间改变。带电粒子束可以有椭圆形横截面。

主权项

1.一种用带电粒子束扫描图形的方法，本方法包括如下步骤：引导带电粒子束，使之沿第一扫描路径与图形相互作用，其中的图形作为与带电粒子束相互作用的结果，改变它的一种特性；和引导带电粒子束，使之沿第二扫描路径与图形相互作用，其中，第一扫描路径与第二扫描路径之间的距离，大于带电电子束的直径。