发明名称 Verfahren zur Herstellung von Silizium.
摘要
申请公布号 CH694699(A5) 申请公布日期 2005.06.15
申请号 CH19990000794 申请日期 1999.04.29
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HOLLENSTEIN CHRISTOPH;FRANZ DAVID;PEDRAZZINI, MAURO;KARNER, JOHANN
分类号 B01J19/08;C23C16/24;C23C16/503;C23C16/513;C23C16/52 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
地址