发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTION OF PATTERNS
摘要
申请公布号 KR20050052805(A) 申请公布日期 2005.06.07
申请号 KR20030086368 申请日期 2003.12.01
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, CHANG HOON;LEE, BYUNG AM;AHN, BYUNG SEOL;CHO, JAE SUN;KIM, JOO WOO;LEE, SUNG MAN
分类号 G01N21/956;G06F15/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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