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发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTION OF PATTERNS
摘要
申请公布号
KR20050052805(A)
申请公布日期
2005.06.07
申请号
KR20030086368
申请日期
2003.12.01
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
LEE, CHANG HOON;LEE, BYUNG AM;AHN, BYUNG SEOL;CHO, JAE SUN;KIM, JOO WOO;LEE, SUNG MAN
分类号
G01N21/956;G06F15/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01N21/956
代理机构
代理人
主权项
地址
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