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发明名称 method for manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100493408(B1) 申请公布日期 2005.06.07
申请号 KR20000079621 申请日期 2000.12.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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