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Es wird eine Beleuchtungsvorrichtung mit einem einen Stufenspiegel (2, 3, 20) aufweisenden Kohärenzminderer (1), der mittels des Stufenspiegels (2, 3, 20) einem zugeführten Strahlenbündel (11) unterschiedliche Phasenverschiebungen in Abhängigkeit von der Position im Strahlquerschnitt einprägt und als Beleuchtungsstrahlenbündel abgibt, und mit einer dem Kohärenzminderer (1) nachgeordneten Beleuchtungsoptik (4), die das Beleuchtungsstrahlenbündel zur Beleuchtung eines Objektfeldes (O) abbildet, bereitstellt, wobei die einzelnen reflektiven Flächen (5, 6, 7, 8, 9; 21, 22, 23, 24, 25, 26, 27) des Stufenspiegels (2, 3, 20) gekrümmt ausgebildet sind.
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