磁碟用研磨液组合物

摘要

本发明系有关一种磁碟用研磨液组合物，其含有氧化铝、水、过氧化物、以及有机酸；一种被研磨基板之研磨方法，其包含使用上述研磨液组合物研磨被研磨基板之步骤；以及一种基板之制造方法，其包含使用上述研磨液组合物研磨被研磨基板之步骤。研磨液组合物可较适宜地使用于高品质硬碟等之磁碟基板之制造。