发明名称 溅镀靶材
摘要 本发明提供一种具有高反射率且耐热性优异的溅镀靶材,其系由在Ag中添加特定少量的P并予以合金化形成之Ag基合金所构成。
申请公布号 TW200517510 申请公布日期 2005.06.01
申请号 TW093131137 申请日期 2004.10.14
申请人 石福金属兴业股份有限公司 发明人 长谷川浩一;石井信雄
分类号 C23C14/14 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人 何金涂;何秋远
主权项
地址 日本