发明名称 物料取放机构
摘要 一种物料取放机构,系用于将一承载装置内之晶圆的晶片快速地取放至一置晶盒内;该物料取放机构包括一水平点对点运动装置以及一垂直升降运动装置;该水平点对点运动装置包括一固定件、一第一驱动单元、一驱动件、一滑动件和一输出杆;该第一驱动单元的驱动轴带动该驱动件转动,使该驱动件的另一端带动该滑动件且带动该输出杆,从而使该输出杆作摆动动作;该垂直升降运动装置驱动该水平点对点运动装置的固定件作垂直升降的动作;藉此,使该输出杆可往复地取放与移动该晶圆的晶片。
申请公布号 TWM266540 申请公布日期 2005.06.01
申请号 TW093215070 申请日期 2004.09.21
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 吕文熔;黄朝显;黄国钟;林宏毅;刘家杰
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项 1.一种物料取放机构,包括:一水平点对点运动装置,包括一固定件、一第一驱动单元、一驱动件、一滑动件和一输出杆,该第一驱动单元固定于该固定件,该驱动件的一端枢接于该固定件且固定于该第一驱动单元的驱动轴,该滑动件枢接于该驱动件的另一端且滑接于该输出杆的一端,该输出杆并枢接于该固定件且形成一枢接点,其中,当该第一驱动单元的驱动轴带动该驱动件转动时,该驱动件的另一端带动该滑动件且带动该输出杆,该输出杆以该枢接点为一回转中心作摆动动作;以及一垂直升降运动装置,其驱动该水平点对点运动装置的固定件作垂直升降的动作。2.如申请专利范围第1项所述之物料取放机构,其中该第一驱动单元为一伺服马达。3.如申请专利范围第1项所述之物料取放机构,其中该输出杆的一端设有一滑轨,该滑动件滑接于该滑轨上。4.如申请专利范围第1项所述之物料取放机构,其中该输出杆的末端设有一真空吸取头。5.如申请专利范围第1项所述之物料取放机构,其中该输出杆作摆动动作之平面平行于一物料取放面。6.如申请专利范围第5项所述之物料取放机构,其中该物料取放面为一晶圆的晶片取放面。7.如申请专利范围第1项所述之物料取放机构,其中该驱动件和该输出杆之间呈90度的二位置为该输出杆的第一死点位置和第二死点位置,该第一死点位置和该第二死点位置分别为该物料取放机构的一物料取出点和一物料放置点。8.如申请专利范围第7项所述之物料取放机构,其中该输出杆的第一死点位置和第二死点位置之间形成一摆动范围,该物料取放机构配置于一构装设备上,该构装设备设有二减震元件,该二减震元件位于该摆动范围的二侧,当该输出杆的另一端位于该第一死点位置或该第二死点位置时,该输出杆触及相对应的该二减震元件之一。9.如申请专利范围第1项所述之物料取放机构,其中该垂直升降运动装置包括一基座、一第二驱动单元、一直线给进构件和一模板,该模板滑接于该基座,该第二驱动单元固定于该基座,该第二驱动单元的一驱动轴固接于该直线给进构件的一端,该直线给进构件的另一端驱动该模板作垂直升降的动作,该水平点对点运动装置的固定件固接于该模板。10.如申请专利范围第9项所述之物料取放机构,其中该第二驱动单元为一伺服马达。11.如申请专利范围第9项所述之物料取放机构,其中该直线给进构件为一导螺杆。12.如申请专利范围第9项所述之物料取放机构,其中该垂直升降运动装置之模板作垂直升降的动作之轨迹垂直于一物料取放面。图式简单说明:第一图系本创作物料取放机构之立体组合图。第二图系本创作物料取放机构的水平点对点运动装置之立体图。第三图系本创作物料取放机构的水平点对点运动装置另一角度之局部立体图。第四图系本创作物料取放机构的垂直升降运动装置之立体图。第五图系本创作物料取放机构的水平点对点运动装置作动时之平面示意图。
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号