玻璃栅极结构的碳纳米管场致发射平面显示器及制作工艺

摘要

本发明涉及一种碳纳米管阴极的具有玻璃栅极结构的三极结构场致发射平板显示器及其制作工艺，包括阴极面板、其上有锡铟氧化物薄膜的阳极面板、制备在锡铟氧化物薄膜上的荧光粉层、内部起支撑作用的隔离柱、阴极面板、阳极面板及玻璃围框所构成的密封真空腔，控制栅极结构以平板玻璃作为控制栅极的基底材料，安装固定在阴极面板上，由于玻璃具有良好的电学绝缘性能，可提高控制栅极和碳纳米管阴极间的绝缘等级，避免控制栅极与碳纳米管阴极在高电压下出现电学击穿现象，采用平板玻璃作为控制栅极的衬底材料，简化了整体器件制作工艺，降低了成本，栅极衬底和碳纳米管阴极衬底之间热膨胀系数差别较小，避免了高温烧结封装工艺中出现的炸裂现象，提高了整体器件的制作成功率。

主权项

1、一种玻璃栅极结构的碳纳米管阴极场致发射平面显示器，包括印刷有碳纳米管阴极(6)的阴极面板(4)、其上有锡铟氧化物薄膜(8)的阳极面板(7)、制备在锡铟氧化物薄膜上的荧光粉层(10)、内部起支撑作用的隔离柱(12)、阴极面板、阳极面板及玻璃围框所构成的密封真空腔，其特征在于：控制栅极结构以平板玻璃作为控制栅极的基底材料，安装固定在阴极面板上。