发明名称 金属有机物沉积制备高温超导薄膜的方法
摘要 本发明公开了一种金属有机物沉积制备高温超导薄膜的方法,该方法包括以下步骤:首先,将乙酸钇、乙酸钡、乙酸铜溶解在溶剂中,形成溶胶;然后将上述溶胶涂布在基片上;再将上述附着有溶胶的基片放入烧结炉中烧结。采用上述方法制备高温超导薄膜,只需将金属有机物制成溶胶并将溶胶涂抹在基片上再经烧结即可得到超导薄膜,无需在真空系统操作而且薄膜组分易控制,无需特定设备因而大大降低了成本。
申请公布号 CN1621560A 申请公布日期 2005.06.01
申请号 CN200410098800.8 申请日期 2004.12.16
申请人 中国科学院物理研究所 发明人 刘震;周岳亮;王淑芳;程波林;金奎娟;陈正豪;吕惠宾;杨国桢
分类号 C23C18/02;C23C18/04 主分类号 C23C18/02
代理机构 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 代理人 尹振启
主权项 1、一种金属有机物沉积制备高温超导薄膜的方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:(一)制备溶胶:将乙酸钇、乙酸钡、乙酸铜溶解在溶剂中,形成溶胶;(二)涂层:将上述溶胶涂布在基片上;(三)烧结:将上述附着有溶胶的基片放入烧结炉中烧结。
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