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发明名称 APPARATUS FOR WAFER TRANSFER
摘要
申请公布号 KR20050049902(A) 申请公布日期 2005.05.27
申请号 KR20030083662 申请日期 2003.11.24
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 BANG, IN HO;KIM, WOO YOUNG
分类号 (IPC1-7):H01L21/68 主分类号 (IPC1-7):H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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