| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к технике, в частности, микроскопостроению и может быть использована в качестве сканирующего устройства при создании сканирующих зондовых микроскопов различного типа. Сущность полезной модели заключается в том, что предлагаемое сканирующее устройство зондовой микроскопии состоит из основного пьезокерамического элемента в форме параллепипеда на сдвиговом эффекте, пьезоцилиндрического цилиндра с держателем объекта и вставки. Одна из боковых поверхностей основного пьезокерамического элемента жестко прикреплена к корпусу устройства сканирования, а к противоположной крепится вставка, на которой закреплен нижним основанием пьезоцилиндр с держателем объекта. Предлагаемое устройство позволяет проводить сканирование по трем координатам на расстояние не менее 100×100×10 мкм и одновременно обладает высокой резонансной частотой (не менее 40 кГц), что дает возможность повысить частоту сканирования и получить атомарное разрешение зондового микроскопа без использования внешних виброизолирующих устройств.</p> |
