| 发明名称 |
APPARATUS FOR COATING PHOTORESIST ON A SUBSTRATE FOR MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY DEVICES AND NOZZLE USED IN THE APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20050049171(A) |
申请公布日期 |
2005.05.25 |
| 申请号 |
KR20030083063 |
申请日期 |
2003.11.21 |
| 申请人 |
SEMES CO., LTD. |
发明人 |
CHO, JUNG KEUN;KIM, YOON SUN;LIM, JOON KYU |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
