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发明名称 Chemical filter
摘要
申请公布号 EP1247559(B1) 申请公布日期 2005.05.25
申请号 EP20020006327 申请日期 2002.03.21
申请人 NICHIAS CO., LTD. 发明人 TANAKA, MINORU;YAMANA, KAZUKI
分类号 B01D53/86;B01D53/04;B01D39/14;B01D53/14;B01J21/12;B01J21/18;B01J23/34;B01J35/00;B01J35/04;B01J37/02;H01L21/00;(IPC1-7):B01D53/04 主分类号 B01D53/86
代理机构 代理人
主权项
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