机台监控方法

摘要

一种机台监控方法透过一机台监控装置监控至少一机台，该机台监控装置包含有一生产流程控制模组(configuration controller)、一机台驱动模组(equipment driver)及一通用机台介面(generic equipment interface)，利用通用机台介面讯息(generic equipment interface messages)提供该生产流程控制模组及该机台驱动模组间的沟通。该方法包含下列步骤：提供至少一生产流程并写入该生产流程控制模组内的一控制资料库；透过该通用机台介面讯息传送该生产流程至该机台驱动模组内的一驱动资料库；应用存于该驱动资料库的转换法则来转换该至少一生产流程成为至少一设备法则与机台通讯讯息(SECSII message)，并将该机台通讯讯息传送到机台藉以操控该机台。另外，机台监控方法亦包含下列步骤：从该机台接收一通讯讯息并将它转换为设备法则后存于驱动资料库；转换该设备法则成为该通用机台介面讯息；以及传送该通用机台介面讯息到该生产流程控制模组并储存该通用机台介面讯息于该控制资料库中藉以监视并控制该机台。

主权项

1.一种机台监控方法,透过一机台监控装置监控至少一机台,该机台监控装置包含有一生产流程控制模组、一机台驱动模组及一通用机台介面(genericequipment interface)利用通用机台介面讯息(genericequipment interface messages)提供该生产流程控制模组及该机台驱动模组间的沟通,该方法包含下列步骤:(a)提供至少一生产流程并写入该生产流程控制模组内的一控制资料库;(b)透过该通用机台介面讯息传送该生产流程至该机台驱动模组内的一驱动资料库;(c)转换该至少一生产流程成为至少一设备法则;(d)从该至少一机台接收至少一机台通讯讯息;(e)转换该设备法则成为该通用机台介面讯息;以及(f)传送该通用机台介面讯息到该生产流程控制模组并储存该通用机台介面讯息于该控制资料库中藉以监视并控制该机台。2.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该生产流程控制模组的控制资料库为一生产流程资料库。3.如申请专利范围第2项所述之方法,其中该生产流程控制模组是被用来读取该生产流程资料库并透过该通用机台介面讯息传送该生产流程到该机台驱动模组。4.如申请专利范围第2项所述之方法,其中该生产流程控制模组从该机台监控装置、透过该通用机台介面讯息接收至少一事件资料并将该事件资料编辑到生产流程资料库。5.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该驱动资料库为一机台行为资料库。6.如申请专利范围第5项所述之方法,其中该机台驱动模组透过该通用机台介面讯息从该生产流程控制模组接收到至少一控制资料,并储存该控制资料到该机台行为资料库内一特定空间,再依循该通讯协定转换该控制资料为一控制讯息后传送该控制讯息到该机台。7.如申请专利范围第5项所述之方法,其中该机台驱动模组接收到以该通讯协定为准之一机台讯息,并转换该机台讯息为该通用机台介面讯息,之后再传送该通用机台介面讯息到生产流程控制模组。8.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该至少一设备法则系符合该机台通讯协定。9.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该驱动资料库内定义有至少一第一转换规则,藉由该第一转换规则该生产流程可被转换为该设备法则;而该设备法则亦可被转换为该生产流程。10.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该驱动资料库内定义有至少一第二转换规则,藉由该第二转换规则、该机台讯息可被转换为该通用机台介面讯息;而该通用机台介面讯息亦可被转换为该机台讯息。11.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该通讯协定系至少包含一半导体工业的机台通讯讯息协定。12.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该至少一生产流程与该机台监控装置的该至少一设备法则可藉由简单的填写该生产流程资料库及该机台行为资料库的内容来加以使用或修改,而不需要修改机台监控装置的程式结构与编码。13.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该生产流程控制模组与该机台驱动模组间的该通讯讯息即为通用机台介面讯息。14.如申请专利范围第1项所述之方法,藉由填写该生产流程资料库及该机台行为资料库,则该机台监控装置即能对应所有正常的该生产流程和该设备法则。15.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该机台监控装置为通用,故可掌控各式各样的生产流程并控制或监视不同型式的机台。16.如申请专利范围第1项所述之方法,当该生产流程或是该设备法则间有例外事件产生时,可藉由建立至少一使用者定义函式来加以处理。17.如申请专利范围第1项所述之方法,其中更包含一步骤:转换该至少一生产流程为一特定机台通讯讯息,并传送该特定机台通讯讯息到该机台以作监控之用。18.如申请专利范围第17项所述之方法,其中更包含下列步骤:转换该特定机台通讯讯息为一设备法则,并储存该设备法则到该机台驱动模组的该驱动资料库,并再传送该设备法则到生产流程控制模组以达成监控之目的。19.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该步骤(c)更包含一步骤:(c1)转换该设备法则为该机台通讯讯息。20.如申请专利范围第19项所述之方法,其中该步骤(c1)更包含一步骤:(c2)传送该机台通讯讯息至该至少一机台。21.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该步骤(d)更包含一步骤:(d1)将该至少一机台通讯讯息转换成至少一设备法则。图式简单说明:第一图为习用之通用机台介面讯息架构图。第二图为习用之通用机台介面讯息之另一架构图。第三图为本发明较佳实施例之通用型机台监控装置的实体配置图。第四图为本发明较佳实施例之通用型机台监控装置的系统架构图。第五图为本发明较佳实施例之通用型机台监控装置的使用者定义资料格式示意图。第六图为本发明较佳实施例所示之通用型机台监控装置的通用机台介面讯息在生产流程控制模组内进行包装流程的示意图。第七图为本发明较佳实施例所示之通用型机台监控装置在机台驱动模组中进行生产流程与设备法则转换之示意图。第八图为本发明较佳实施例所示之通用型机台监控装置在机台驱动模组中接收由机台所回传的机台通讯讯息之过程示意图。第九图为本发明较佳实施例所示之通用型机台监控装置在机台驱动模组中接收由机台主动传送的机台通讯讯息之过程示意图。第十图为本发明较佳实施例所示之通用型机台监控装置在机台驱动模组中包装通用机台介面讯息的包装流程示意图。第十一图为本发明较佳实施例所示之通用型机台监控装置在生产流程控制模组中接收通用机台介面讯息的过程示意图。第十二图为本发明较佳实施例所示之通用型机台控制装置之操作流程示意图。