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发明名称 NOZZLE FOR WET PROCESSING AND WET PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100490759(B1) 申请公布日期 2005.05.19
申请号 KR20020051524 申请日期 2002.08.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B05B1/00;B08B3/02;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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