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发明名称 Method and device for annealing a multi-layer body, and such a multi-layer body
摘要
申请公布号 AU781422(B2) 申请公布日期 2005.05.19
申请号 AU20000074020 申请日期 2000.07.31
申请人 SHELL SOLAR GMBH 发明人 VOLKER PROBST
分类号 H01L31/04;H01L31/032;H01L31/0336;H01L31/18;(IPC1-7):H01L31/18 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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