矽烷化剂及其用途之改良

摘要

本发明提供一种矽烷化剂在半导体处理中之用途之改良。更特别地，可以以结合一种实质上非可燃性醚之方式提供该矽烷化剂，以使该组合物实质上为非可燃性。此外，可以以蒸汽形式，或者以结合电磁辐射之方式使用该矽烷化剂。此等具体实施方案可以例如藉由在各种处理设备中更安全、更方便地使用矽烷化剂及／或藉由提高矽烷化剂之钝化效力／效率用以提高矽烷化剂之可用性。