发明名称 A METHOD OF FABRICATING SOI WAFER
摘要
申请公布号 KR100491272(B1) 申请公布日期 2005.05.16
申请号 KR19970033352 申请日期 1997.07.16
申请人 FAIRCHILD KOREA SEMICONDUCTOR LTD. 发明人 SONG, CHANG SEOP;JANG, HYEONG U
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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