| 主权项 |
1.一种用于制造FPD之设备,包括:一处理室,作为执行一加工制程之真空室;一基板支撑座,其系装设于该处理室内,其中有一待加工基板置于该基板支撑座上;一传送室,基板经由此传送室从外部运送至该处理室中,或经由此传送室将该基板至自该处理室退出至外部;第一托板及第二托板,装载有基板于此托板上,其中每一托板皆呈分叉状,且该托板之末端可自传送室运送至处理室中;一机械手臂,装设于该传送室内,其中该机关手臂包含有一机械悬臂,该机械悬臂之末端自传送室运送至处理室中,并且此机械悬臂于该传送室与处理室之间以往复运动方式移动,以藉由该机械手臂往返来运送该第一及第二托板;复数个托板升降杆,装设于该传送室及处理室中,其中该托板升降杆被上下移动时,同时可避免碰触该机械悬臂上之分叉状指状物,使得设置于该机械悬臂上之第一及第二托板可被上下移动;以及复数个基板升降杆,装设于传送室及处理室中,其中当该基板升降杆被上下移动时,同时可避免碰触该机械悬臂之分叉状指状物、第一托板及第二托板,使放置于该托板上之基板可被上下移动。2.如申请专利范围第1项所述之用于制造FPD之设备,其中该机械悬臂是以往复运动方式来移动,而不需要以旋转动作来移动。3.如申请专利范围第1项所述之用于制造FPD之设备,其中,该基板升降杆之配置系用以均匀地承载整个基板。4.一种用于制造FPD之设备,包括:一处理室,作为执行一加工制程之真空室;一基板支撑座,其系设置于该处理室内,其中有一待加工基板置于该基板支撑座上;一传送室,基板经由此传送室从外部运送入处理室中,或经由此传送室将该基板自处理室退出至外部;一机械手臂,装设于该传送室内,其中该机械手臂包含有一双叶片构件,该双叶片构件则包含有一上叶片及一下叶片,以便承载该基板于上,且该双叶片构件于处理室及传送室之间以往复运动方式进行运作,其中该上叶片及下叶片之末端皆呈分叉状,且该分叉状末端可自传送室运送至处理室中;复数个内升降杆,装置于该传送室及处理室中,其中该内升降杆装设于该基板之下方,该基板则放置于双叶片构件上,且当该内升降杆被上下移动时,可避免碰撞该双叶片之分叉状末端;以及复数个外升降杆,设置于该传送室及处理室中,其中该外升降杆则设置于该基板正下方之外侧位置,而该基板则放置于双叶片构件上,且该外升降杆之末端部分沿水平方向弯折成角度,并可透过其本身之垂直轴自行旋转。5.如申请专利范围第4项所述之用于制造FPD之设备,其中该双叶片构件可以往复运动方式进行移动,而不需要以旋转动作来运作。6.如申请专利范围第4项所述之用于制造FPD之设备,其中该内升降杆之配置系用以均匀地承载整个基板。7.一种用于制造FPD之设备,包括:一处理室,作为执行一加工制程之真空室;一基板支撑座,其系设置于该处理室内,其中有一待加工基板置于该基板支撑座上;一传送室,基板经由此传送室从外部运送入处理室中,或经由此传送室将该基板自处理室退出至外部;一机械手臂,装设于该传送室内,其中该机械手臂包含有一机械悬臂,该机械悬臂用以承载基板,并于该处理室与传送室之间以往复运动方式进行运作;复数个下升降条,装设于该处理室中,其中该下升降条则设置于该基板正下方之外侧位置,而该基板则放置于该机械悬臂上,并且该下升降条之末端沿水平方向弯折成角度;复数个上升降条,装设于该处理室中,其中该上升降条则设置于该基板正下方之外侧位置,而该基板则放置于该机械悬臂上,并且该上升降条之末端沿水平方向弯折成角度,同时,该上升降条被设计成可向上升起至高于下升降条之位置;复数个内升降杆,装设于该处理室中,其中该内升降杆则设置于该基板之下方,而该基板则放置于机械悬臂上,并且当该内升降杆被上下移动时,可避免碰撞该机械悬臂;以及复数个备用升降杆,装设于该传送室中,其中该备用升降杆设置于该基板正下方之外侧位置,而该基板则放置于机械悬臂上,且该备用升降杆之末端部分淦水平方向弯折成角度。8.如申请专利范围第7项所述之用于制造FPD之设备,其中该机械悬臂以往复运动方式来前后移动。9.如申请专利范围第7项所述之用于制造FPD之设备,其中该机械悬臂可自传送室朝向处理室方向延伸,并用以支撑该基板之中心位置。10.如申请专利范围第7项所述之用于制造FPD之设备,其中该上升降条、下升降条及备用升降杆所弯折成角度之末端部分皆可延伸至接近该基板之中心位置。11.一种用于制造FPD之设备,包括:一处理室,作为执行一加工制程之真空室;一传送室,其系作为一运送之通道,将基板经由传送室自外部运送至处理室中,或经由此传送室将基板自处理室退出至外部;一传输滑动构件,其系装设于该处理室内,该传输滑动构件可于该处理室与传送室之间以往复运动方式移动,以传送一基板;以及复数个升降杆,其系装设于处理室及传送室中,用于支撑基板作上下移动。12.如申请专利范围第11项所述之用于制造FPD之设备,其中该传输滑动构件系为一两段式滑动构件所组成,其包含有一对上下滑动件。13.如申请专利范围第12项所述之用于制造FPD之设备,其中每一该上下滑动件皆包含有:一操控盘;复数个线性导轨,其系设置于该操控盘上;一传动件,其系沿着线性导轨以往复运动方式移动;一滚珠螺杆,其系与该线性导轨呈平行之位置,并使该传动件可沿着此滚珠螺杆以往复运动方式移动;以及一驱动马达,其系用以驱动滚珠螺杆作旋转动作,其中该上滑动件之操控盘设置于该下滑动件之传动件上;以及其中且该支撑基板之叶片构件则设置于该上滑动件之传动件上。14.如申请专利范围第12项所述之用于制造FPD之设备,其中该上下滑动件皆包含有:一操控盘;复数个线性导轨,其系设置于该操控盘上;一传动件,其系沿着该线性导轨以往复运动方式移动;一铁蕊线圈,设置于该传动件之下方;以及一永久磁铁,设置于与该铁蕊线圈相对之位置,并与该线性导轨呈平行位置;其中位于该上滑动件之操控盘设置于该下滑动件之传动件上;以及其中该支撑基板之叶片构件则设置于该上滑动件之传动件上。15.一种用于制造FPD之设备,包括:一处理室,作为执行一加工制程之真空室;一基板支撑座,其系装设于该处理室内,其中有一基板放置于该基板支撑座上;一传送室,系与传送室相联结,该传送室系作为一运送之通道,将基板经申传送室自外部运送至处理室中,并经由此传送室将基板自处理室退出至外部;一机械手臂,其系装设于传送室内,其中该基板藉由该机械手臂来运送,且该机械手臂于传送室与处理室之间以往复运动方式进行移动;复数个内升降杆,其系装设于基板支撑座以外的位置,而基板则置于该内升降杆上,藉由该升降杆之升降动作来上下移动该基板;以及复数个折叠式外升降条,其系装设于该基板支撑座以外的位置,而基板则置于该折叠式外升降条上,每一该折叠式升降条皆包含有一垂直轴及一水平支撑构件,其中该垂直轴被安排作上下移动,而其中之水平支撑构件则包含有一外支撑条及一内支撑条,其中该外支撑条藉由一第一结合构件与该垂直轴以垂直方式相联结,而该第一结合构件则设置于该垂直轴之顶端,另外该内支撑条则藉由一第二结合构件与该外支撑条相联结,该第二结合构件则设置于该外支撑条之末端,并且,该水平支撑构件则藉由该第二结合构件为中心作支撑来折叠。16.如申请专利范围第15项所述之用于制造FPD之设备,其中该折叠式外升降条所支撑之位置较该内升降杆所支撑之位置更接近该基板中心之位置,因此,该内升降杆完全展开时不会受到阻碍。17.如申请专利范围第15项所述之用于制造FPD之设备,其中该第一结合构件与该第二结合构件连结于一动力传输装置上,其中该第一结合构件可藉由该垂直轴之旋转而转动,且该第一结合构件之旋转动力可传输至该动力传输装置之第二结合构件上,使该转动之第二结合构件与第一结合构件相扣合。18.如申请专利范围第17项所述之用于制造FPD之设备,其中该动力传输装置为一皮带结构。19.如申请专利范围第18项所述之用于制造FPD之设备,其中该动力传输装置为一种金属材质之皮带结构。20.如申请专利范围第15项所述之用于制造FPD之设备,其中该外升降条更包含有一辅助支撑杆,该辅助支撑杆之一端可藉由一第一辅助结合构件自垂直轴处独立旋转,而该第一辅助结合构件则设置于处理室中之内壁上接近垂直杆之位置,而该辅助支撑杆之另一端则与位于该内支撑条之末端所延伸之部分之第二辅助结合构件相联结,且该内支撑条则与第二结合构件相联接。21.如申请专利范围第20项所述之用于制造FPD之设备,其中每一该辅助支撑杆之两侧末端皆呈垂直角并延伸一预定长度。22.如申请专利范围第15项所述之用于制造FPD之设备,其中该外支撑条之垂直轴设置于该处理室之内壁空间内。23.如申请专利范围第22项所述之用于制造FPD之设备,其中在该处理室中之内壁空间内装设有锁合闸门,当该水平支撑构件于折叠状态并进入该处理室之内壁空间内时,该锁合闸门系用于保护该水平支撑构件免于加工气体之影响。24.如申请专利范围第15项所述之用于制造FPD之设备,其中该机械手臂系被安排以前后滑动方式移动。25.如申请专利范围第15项所述之用于制造FPD之设备,其中该机械手臂包含有一枢接构件设置于一预定之位置,且该机械手臂于该传送室与处理室之间以往复运动方式进行移动,而不需要以旋转动作来运作。26.如申请专利范围第15项所述之用于制造FPD之设备,其中该机械手臂包含有两根指状物。27.如申请专利范围第26项所述之用于制造FPD之设备,其中每一该指状物皆有复数个基板支撑侧翼,分别由该指状物之预定位置叉出,且该基板支撑侧翼之长度皆设定于一范围内,使其不致阻碍该外升降杆之旋转动作。图式简单说明:第1图系说明一习知用于制造FPD设备之平面结构示意图。第2a图至第2f图系分别说明第1图所述之用于制造FPD设备操作方法之剖视图。第3a及3b图系分别说明第1图所述之用于制造FPD设备中所存在问题之示意图。第4图系说明本发明用于制造FPD设备中根据第一实施例所述之示意图。第5a至5k图系分别说明本发明用于制造FPD设备中根据第一实施例所述之一连串操作方法之剖视图。第6图系说明本发明用于制造FPD设备中根据第二实施例所述之平面示意图。第7a至7g图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第二实施例所述一连串操作方法之剖视图。第8图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第三实施例所述之平面示意图。第9a至9n图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第三实施例所述之一连串操作方法之剖视图。第10图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第四实施例所述之平面示意图。第11图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第四实施例,以一滚珠螺杆作为一传输滑动构件为一实例之示意图。第12图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第四实施例,以一线性马达滑动构件作为一传输滑动构件之另一实例之示意图。第13a至第13n系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第四实施例所述之一连串操作方法之剖视图。第14a图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第五实施例所述,其中具有一枢接构件之一机械手臂之机械悬臂之一连串操作方法之剖视图。第14b图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第五实施例所述,一机械手臂以滑动方式运作之一连串操作方法之剖视图。第15a图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第五实施例所述,一外升降条及一机械指状物之结构之横向剖视图。第15b图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第五实施例所述,一外升降条之结构及其位置之纵向剖视图。第15c图系说明本发明用于制造FPD之设备中第15b图之部分放大图。第15d及15e图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第五实施例所述,一折叠式外升降条设有一皮带构件之结构及其一连串操作方法之示意图。第15f及15g图系说明本发明用于制造FPD之设备中根据第五实施例所述,一枢接式外升降条设有一枢接构件之结构及其一连串操作方法之示意图。 |
