发明名称 包埋钛或钛合金金属团蔟的金属陶瓷薄膜
摘要 本发明涉及包埋钛或钛合金金属团蔟的金属陶瓷薄膜,属于太阳能选择性吸收涂层技术领域。该金属陶瓷薄膜由依次在基体上溅射的铜(Cu)或钛(Ti)反射层、氮化钛包埋钛或钛合金金属团簇(Ti--TiN)吸收层和氮化钛(TiN)减反射层组成。本发明采用的钛或钛(Ti)合金的熔点均大于1570℃,使得复合金属陶瓷薄膜吸收层、反射层和减反射层的热稳定性好,长期使用于超过300℃的条件下不会发生变化,因此成为在中高温太阳能真空集热管中可以应用的太阳能选择性吸收涂层,其热稳定性远优于以铝作为反射材料、以氮化铝为包埋层和减反射层的太阳能选择性吸收涂层并可以与包埋非反应金属团簇的太阳能选择性吸收涂层相媲美。
申请公布号 CN1613807A 申请公布日期 2005.05.11
申请号 CN200410097125.7 申请日期 2004.12.10
申请人 邹定国;赵平;潘明君;吴典华 发明人 邹定国;赵平;潘明君;吴典华
分类号 C03C17/22;C03C17/34;C03C17/36 主分类号 C03C17/22
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所 代理人 廖元秋
主权项 1、一种包埋钛或钛合金金属团蔟的金属陶瓷薄膜,其特征在于,由依次在基体上溅射的铜(Cu)或钛(Ti)反射层、氮化钛包埋钛或钛合金金属团簇(Ti-TiN)吸收层和氮化钛(TiN)减反射层组成。
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