99.99999%三氯氧化磷生产工艺

摘要

本发明是一种纯度为99.99999％三氯氧化磷的生产工艺。该工艺采用高纯磷与高纯氯气反应生产三氯化磷，所得三氯化磷经蒸馏制得三氯化磷纯品，纯品三氯化磷经滴水通氯后，再经回流、蒸馏、精馏、制得产品三氯氧化磷，其单项杂质最高含量不大于9ppb。

主权项

1.一种99.99999％三氯氧化磷的生产工艺，其特征在于：用高纯磷(黄磷或红磷)和干燥好的高纯氯合成三氯化磷初品、初品三氯化磷PCl3经蒸馏取71～78℃馏份得三氯化磷产品，三氯化磷产品置于安有回流装置玻璃烧瓶中经通氯滴水反应，通氯滴水反应后进行回流得POCl3初品，当温度达99-103℃时进行蒸馏，取100-107℃馏份得POCl3纯品，将POCl3纯品精馏而得999.99999％电子级超纯三氯氧化磷POCl3。