衍射薄膜压电微镜及其制造方法

摘要

公开了一种衍射微镜及其制造方法。更具体，本发明属于以压电工作方式工作的衍射薄膜压电微镜及其制造方法，以保证优良的位移、工作速度、可靠性、线性度及低压工作。该衍射薄膜压电微镜包括其上形成凹部以为其中心提供气隙的硅衬底，以及具有带状的压电镜面层，在其两端沿凹部的两端粘附到硅衬底，同时在其中心部分与凹部的底部隔开，以及包括当电压施加到压电材料层时在其中心部分可垂直移动且因此衍射入射光束的薄膜压电材料层。

主权项

1、一种衍射薄膜压电微镜，包括：其上形成凹部以为其中心提供气隙的衬底；以及具有带状的压电镜面层，该压电镜面层在其两端沿凹部的两端粘附到衬底的上侧，而在其中心部分与凹部的底部隔开，以及该压电镜面层包括薄膜压电材料层，当电压施加到薄膜压电材料层的两侧时薄膜压电材料层在其中心部分可垂直移动，且因此衍射入射光束。