发明名称 SYSTEM, METHOD AND COLLIMATOR FOR OBLIQUE DEPOSITION
摘要
申请公布号 AU2003272739(A1) 申请公布日期 2005.05.11
申请号 AU20030272739 申请日期 2003.09.29
申请人 SEAGATE TECHNOLOGY LLC 发明人 KALMAN PELHOS
分类号 C23C14/22;G11B5/85;H01J37/34;(IPC1-7):G11B5/00;C23C14/04 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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