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发明名称 IMPEDANCE DETECTOR CIRCUIT, IMPEDANCE DETECTOR AND METHOD OF IMPEDANCE DETECTION
摘要
申请公布号 EP1219967(A4) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 EP20010912131 申请日期 2001.03.07
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED;HOKUTO ELECTRONICS, INC. 发明人 YAKABE, MASAMI;MATSUMOTO, TOSHIYUKI;HIROTA, YOSHIHIRO;NAKANO, KOICHI
分类号 G01D5/24;G01R27/02;G01R27/26;(IPC1-7):G01R27/02 主分类号 G01D5/24
代理机构 代理人
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