薄膜叠层方法及叠层装置

摘要

本发明的薄膜叠层方法，在叠层基板和薄膜时，对所述基板或者所述薄膜的至少一方施加具有规定频率的声波。由此，因为通过声音振动能作用产生薄膜的弹性形变、塑性形变、基板一薄膜间的原子间结合、摩擦热等，因此可以充分提高薄膜对基板的密合性和凹凸覆盖性，可以以高水平实现薄膜向基板的凹凸部分的埋入性。

主权项

1.薄膜叠层方法，其在向基板上叠层薄膜时，在所述基板或薄膜的至少一方施加具有规定频率的声波。