| 发明名称 |
Electron beam treatment device |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1215706(A3) |
申请公布日期 |
2005.05.04 |
| 申请号 |
EP20010129437 |
申请日期 |
2001.12.10 |
| 申请人 |
USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
YAMAGUCHI, MASANORI |
| 分类号 |
G21K5/04;B01J19/12;B23K15/00;B29C35/08;C23C14/30;G21K5/00;H01J33/04;H01L21/31;(IPC1-7):H01J33/00;B29C59/16 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
