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发明名称 Method of manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100487638(B1) 申请公布日期 2005.05.03
申请号 KR20020071622 申请日期 2002.11.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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