处理装置和方法

摘要

本发明提供一种处理方法，该方法使用至少含氢的处理气体电浆终止在至少局部含矽系统材料之物体中的垂悬黏接，该方法包括以下步骤：将物体放在包括介电窗及感受器之处理室的感受器上、及控制感受器的温度到预设温度、控制处理室的压力到预设压力、导入处理气体到处理室内、及透过介电窗导入对物体电浆处理用的微波到处理室内，使得处理气体的电浆具有10^11cm^–3或更大的电浆密度，其中介电窗和物体之间的距离被维持在20mm和200mm之间。