| 发明名称 |
AN EDGE CORRECTION METHOD OF DEVELOPING UNIFORMITY AND ALIGNMENT ACCURACY IN ARRAY CONTACT LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050038866(A) |
申请公布日期 |
2005.04.29 |
| 申请号 |
KR20030074172 |
申请日期 |
2003.10.23 |
| 申请人 |
HYNIX SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
OH, SE YOUNG;WOO, SOUNG SU |
| 分类号 |
H01L21/027;G03C5/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/4763;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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