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发明名称 SCHICHTDICKENMESSUNG MITTELS INELASTISCHER ELEKTRONENSTREUUNG
摘要
申请公布号 DE60018932(D1) 申请公布日期 2005.04.28
申请号 DE20006018932 申请日期 2000.06.22
申请人 FEI CO., HILLSBORO 发明人 VASILYEV, A.;BRYSON, E.;LINDER, ROBERT;BORODYANSKY, SERGEY;KI YACHKO, DMITRI
分类号 G01B15/02;G01N23/203;G01N23/225;G01N23/227;(IPC1-7):G01B15/02 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
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