改进电铸工艺中沉积均匀性的装置

摘要

本实用新型包括一种用来改进电铸过程中沉积均匀性的装置。该装置包括搅拌装置，设置其以提供对阳极筐的搅动，在控制栅极(如钛网)上分布有偏流，该控制栅极布置在阳极和阴极之间，其中设置该控制栅极以显著减少跨越阴极的电场的变化，阴极，其包括带有接触圈的后板，其中该接触圈包括设置以增加该接触圈对该后板压力的装置，并且/或者，该阴极安装到导螺杆上，用来使该阴极能沿与所述阳极垂直的轴线进行轴向运动。

主权项

1、一种用来改进电铸工艺中沉积均匀性的装置，其中该装置包括阳极筐，与所述阳极相对的阴极，其特征在于：该装置还包括位于所述阳极与阴极之间的控制栅极，其中设置该控制栅极以显著减少跨越所述阴极的电场的变化。