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发明名称 METHOD FOR PREVENTING METAL-CORROSION IN THE METAL-ETCH PROCESS
摘要
申请公布号 KR100484896(B1) 申请公布日期 2005.04.22
申请号 KR20020057004 申请日期 2002.09.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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