发明名称
摘要
申请公布号 JP2005510865(A) 申请公布日期 2005.04.21
申请号 JP20030548253 申请日期 2002.11.15
申请人 发明人
分类号 G11C11/22;G11C13/02;H01L21/316;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/28;H01L51/05;(IPC1-7):H01L27/10;H01L51/00 主分类号 G11C11/22
代理机构 代理人
主权项
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